材料结构包括非晶硅和微晶硅，电池结构包括非晶硅单结，非晶硅/非晶硅双结叠层，非晶硅/微晶硅双结叠层电池，还包括各种合金材料和电池基于硅，如非晶硅锗电池。非晶硅太阳能电池（a-Si）通过化学气相沉积制备非晶硅。将硅烷（SiH4）和氢气（H2）引入真空室。通过等离子体放电分解气体，然后以200度沉积。在左右玻璃或诸如塑料或不锈钢的基板上形成非晶硅膜。特性非晶硅薄膜没有整齐排列在原子中，并且有许多硅悬空键。因此，存在许多缺陷状态，这导致较低的载流子迁移率和较低的器件效率。非晶硅太阳能电池具有光降解效应，电池效率严重下降。在正常情况下，初始效率下降20-25％以实现稳定。非晶硅层压太阳能电池（a-Si / a-Si）制备两个pin结以形成双层结构，例如引脚/引脚，两个pin结串联连接，并且非晶硅膜的每个结可以相对减薄改善电子孔的收集效率和电池的稳定性。两个针脚结也可以充分吸收阳光。特征双结非晶/非晶硅薄膜电池通常比单结电池具有更高的效率和稳定性。微晶硅太阳能电池（uc-Si）通过改变沉积参数来改变沉积材料的结构。 VHF-PECVD用于以更高的速率获得微晶硅膜的沉积速率。它具有更好的结构有序性，没有衰变效应。载流子迁移率较高，具有晶体硅的稳定性，高效率和非晶硅的低温制备特性等低成本的优点。缺点：吸收系数相对较低，需要较厚的吸收层。通过将非晶硅pin结和微晶硅pin结串联连接形成非晶硅/微晶硅层压太阳能电池，以形成层压电池结构。特点该电池具有非晶硅和微晶硅两者的优点，既高效又稳定性高。